Technik + Technikgeschichte Fedotov, J.A./Pohl, H.-J. (Hrsg.). Fotolithografie – Grundlagen und Anwendungen in der Halbleitertechnologie. Gemeinschaftsausgabe. Technik Berlin – Sovjetskoje Radio Mokau. 336 Seiten. 205 Abb., 43 Tafeln. Leinen.

• Kategorie: Technik + Technikgeschichte
• Schlagwörter: Technik · Technikgeschichte
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